ASTM F890-1984(1992) 微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
作者:标准资料网
时间:2024-05-17 05:58:53
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【英文标准名称】:PracticeforDeterminingPinholeDensityinPhotoresistFilmsUsedinMicroelectronicDeviceProcessing
【原文标准名称】:微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
【标准号】:ASTMF890-1984(1992)
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1984
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:销孔;密度;微电子学;电子工程;层;元部件;测定
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:L10
【国际标准分类号】:
【页数】:
【正文语种】:
【原文标准名称】:微电子器件加工过程用的光刻膜中针孔密度的测定
【标准号】:ASTMF890-1984(1992)
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1984
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:
【标准类型】:(Practice)
【标准水平】:()
【中文主题词】:销孔;密度;微电子学;电子工程;层;元部件;测定
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:L10
【国际标准分类号】:
【页数】:
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